Gebäudetechnik
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Vakuumlecksuche
 
Methoden zum Auffinden von Undichtheiten (Lecks) in vakuumtechnischen Systemen.
Im einfachsten Fall erfolgt dies durch eine Druckanstiegsmessung nach Absperren des als undicht vermuteten Teiles eines vakuumtechnischen Systems. Ein sehr schneller Druckanstieg deutet auf ein Leck im betreffenden Teil hin. Um die exakte Lokalisation des Lecks zu finden, bedient man sich der Lecksuche mittels eines Helium-Lecksuchers. Dabei werden die exponierten Stellen (Schweißnähte, Dichtungen, Durchführungen etc.) mit Helium abgesprüht. Das im Falle einer Undichtheit in das System eindringende Helium wird in einem Massenspektrometer ausgewertet und als Leckrate angezeigt.