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Reinraumtechnologie

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Reinraumtechnologie
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ISO 14641-1 : 1999

VDI 2086/3

VDI 3491

DIN 1964/4

und möglicherweise noch andere Quellen reinlufttechnischer Begriffsdefinitionen.

12 Dec 2004
22:22:56
Lene
Reinraumtechnologie Vorschriften Richtlinien Lexikon
Guten Tag, im Anhang Infos zum Thema Reinraum ( Richtlinien, Vorschriften), viel Erfolg! Gruss Richter




Richtlinien und Empfehlungen Reinraumtechnik ‚ÄĘFED STD 209E Airbone Particulate Cleanliness ‚ÄĘVDI Richtlinien Reinraumtechnik Messtechnik o VDI 2083 Blatt 3, Feb. 83 o VDI 2066, 1955 Staubmessung in str√∂menden o IES-Recommended Practice-CC-006-84-T o IES-Recommended Practice-CC-001-86 ‚ÄĘ IES-Recommended Practice-CC-007-89 ‚ÄĘ DIN 24184 und DIN 24185 ‚ÄĘ Eurovent 4/8 (DEHS-(DOP)- Aerosoltest)

Auszug aus:

http://www.gbt.ch/knowhow/doc500029/Reinraum.pdf


Lexikon: Abrieb: Spezielle Form der Partikelemission, die auf das mechanische Abtragen von Material bei reibender Bewegung zur√ľckgeht.

Abriebfestigkeit: In der Reinraumtechnik unbedingt erforderliche Eigenschaft von Oberflächen der verwendeten Baumaterialie, Geräten und Inventare.

Abscheidegrad: Gravimetrisch ermitteltes Verh√§ltnis der im Luftfilter abgeschiedenen Masse der ASHRAE-Staubes zu der, die dem Filter zugef√ľhrt wird.

Aerosol: In Luft verteilte, fein dispergierte, feste oder fl√ľssige Materie (Luftkolloid).

Aerosol-Photometer: Ger√§t zum Feststellen von Aerosolkonzentrationen auf der Basis von Streulichtmessungen; eine Absolutmessung ist nicht m√∂glich, jedoch ist bei einem in bezug auf die Korngr√∂√üenverteilung konstanten Aerosol ein R√ľckschlu√ü von der Intensit√§t des Streulichts auf die Massenkonzentration des Aerosols durch Kalibrieren m√∂glich.

Antistatische Ausr√ľstung: Ausr√ľsten der Oberfl√§chen bzw. der Materialien so, da√ü eine schwache elektrische Leitf√§higkeit entstehende statische Aufladungen ausschlie√üen l√§√üt.

Anströmgeschwindigkeit: Luftgeschwindigkeit, mit der die Schwebstoff-Filterelemente senkrecht angeströmt werden. Wegen der unvermeidbaren Flächenverluste im allgemeinen etwas höher als die Geschwindigkeit der turbulenzarmen Verdrängungsströmung.

Archimedes-Zahl: Dimensionslose Kennzahl, gebildet aus dem Verh√§ltnis der Tr√§gheitskraft zu Auftriebskr√§ften infolge entstehender Temperaturunterschiede; sie ist somit ein Ma√ü f√ľr die Stabilit√§t der Stabilit√§t der turbulenzarmen Verdr√§ngungsstr√∂mung (Cave: Wegen fehlender turbulenter Durchmischung ist die Archimedes-Zahl auf das Raumvolumen zu beschr√§nken, in dem die W√§rmequelle lokalisiert ist, darauf ist die in der Zahl eingehende W√§rmelast zu beziehen).

ASHRAE*-Test: Luftfilter-Pr√ľfverfahren nach ASHRAE 52 68 (USA), bei dem der Pr√ľfling abwechselnd mit ASHRAE-Staub, einem aus Gesteinsmehl, Ru√ü und Bauwoll-Linters gemischten Staub, zur Bestimmung des gravimetrischen Abscheidgrades und mit nat√ľrlichen Luftaerosol zur Bestimmung des Wirkungsgrades durch die verf√§rbende Wirkung der Aerosolteilchen beaufschlagt wird.

(*ASHRAE: American Society of Heating, Refrigation, and Airconditioning, Engineers)

Aufnahmerahmenkonstruktion: Rahmenwerk aus winkligen Profilen, in die die Schwebstoff-Filter eingesetzt und mit den zur Aufnahmerahmenkonstruktion gehörenden Anpreßvorrichtungen gleichmäßig dicht in die Filtersitze gepreßt werden.

Behaglichkeit: Aus den Zustandswerten und physischen sowie psychischen Faktoren resultierender Bereich von Temperatur und Feuchte sowie Luftgeschwindigkeit, innerhalb dessen ein "Normalmensch"keine ungehaglichen Erscheinungen (Kälte, Hitze, Zug) wahrnimmt.

Contamination control: Angels√§chsischer terminus technicus f√ľr Reinraumtechnik (wird auch f√ľr Abluftreinigung gebraucht).

Cross-Flow: Angels√§chsischer terminus technicus f√ľr Querstrom.

Dichtheit: Der Zustand in dem : alle Schwebstoff-Filterelemente luftdicht in der Aufnahmerahmenkonstruktion sitzen und alle in der Filterwand bzw. die Filterdecke eingebauten Schwebstoff-Filterelemente keine Lecks haben.

Dichtheitspr√ľfung: √úbertragung des Lecktests auf die Filterwand bzw. die Filterdecke.

Dichtung: Auf dem Schwebstoff-Filterelement aufgebrachtes dauerelastisches Teil, das sich auf den Filtersitz legt und nach dem Anpressen des Filterelements eine luftdichte Verbindung zwischen Filterelement und Aufnahmerahmenkonstruktion bewirkt.

DOP-Test: Nach Mil.Std. 282 (USA): Pr√ľfmethode zum Pr√ľfen von Schwebstoff-Luftfiltern (St√ľckpr√ľfung) mit Hilfe eines thermisch erzeugten DOP-(Dioctylphthalat-) Nebels mit nahezu einheitlichem Partikeldurchmesser von 0,3. Die Bestimmung der Aerosolkonzentration vor und hinter dem Pr√ľfling geschieht mit Aerosol-Photometern.

Down-Flow: Angels√§chsischer terminus f√ľr Vertikalstrom.

Druckdifferenz: Differenz der statischen Dr√ľcke vor und hinter einem Filter. Die Druckdifferenz ist --- bei konstanter Anstr√∂mgeschwindigkeit --- ein Ma√ü f√ľr die Staubbeladung (auch Filters√§ttigung).

Durchla√ügrad: Wird im allgemeinen statt Abscheide-, Wirkungs- oder Entstauungsgrad bei Schwebstoff-Luftfiltern gebraucht. Der Durchla√ügrad D (in %) ist gegeben durch die Differenz 100 minus Abscheidegrad (bzw. Wirkungs-oder Entstaubungsgrad). Es ist immer an Hand der Testmethode zu pr√ľfen, ob der Durchla√ügrad massenbezogen (Sodium-Flame-Test), streulichtbezogen (DOP-Test) oder teilchenzahlbezogen (Methoden unter Benutzung von Teilchenz√§hlern) ist.

Enddruckdifferenz: Maximale, f√ľr den Filter in einer Anlage zul√§ssige Druckdifferenz, die in der Mehrzahl der F√§lle von der Anlage und ihrem Ventilator gegeben wird. Die maximale Filterdruckdifferenz (die Grenze f√ľr Staubdurchbruch oder mechanische Besch√§digungen liegt ---oft weit --- h√∂her).

Erstluft: Die Luft, die nach ihrem Austritt aus einem Schwebstoff-Filter noch nicht mit einer Kontaminationsquelle oder mit dem von ihr ausgehenden Kontaminationsk√∂rper in Ber√ľhrung gekommen ist.

Feuchte: Gehalt der Luft an Wasserdampf in Gramm pro Kilogramm trockene Luft. Andere Angaben: Relative Feuchte in %, Taupunkt oder psychrometrische Differenz, die mit einem feuchten Thermof√ľhler gegen√ľber einem trockenen ermittelt wird.

Filter: Vorrichtung zum Entfernen von Verunreinigungen aus Fluiden.

Filterwand (Filterdecke): In der LF-Reinraumtechnik werden die Schwebstoff-Filter zu Filterw√§nden (f√ľr Querstrom) bzw. zu Filterdecken (f√ľr Fallstrom) so in einer Aufnahmerahmenkonstruktion zusammengefa√üt, da√ü die gesamte Fl√§che der Wand bzw. der Decke bis zu den anschlie√üenden der Str√∂mung f√ľhrenden Begrenzungen von Schwebstoff-Filtern (nahzu) l√ľckenlos ausgef√ľllt ist.

Glove-Box: Dichter Kasten mit Sichtscheiben und dicht angebrachten Plastik-Handschuhen zum Durchf√ľhren von Arbeiten an hochtoxischem oder hochinfekti√∂sem Material (Isolatortechnik), ggf. mit Luftumw√§lzung und Filterung der umgew√§lzten Luft (auch f√ľr Schutzgasarbeiten).

Grenzschicht: Übergangsschicht von der Strömung zu einer ruhenden Oberfläche, in der die Strömungsgeschwindigkeit auf Null absinkt. Eine Strömungsablösung beginnt mit Instabilitäten in der Grenzschicht.

HEPA-Filter: Angels√§chsischer terminus technicus f√ľr HOSCH-Filter (hier: Durchla√ügrad kleiner 0,01% nach DOP-Test).

Horizontalstrom: Die turbulenzarme Verdr√§ngungsstr√∂mung wird waagerecht gef√ľhrt.

Hosch-Filter: Schwebstoff-Luftfilter, das im kritischen Abscheidebereich (etwa 0,2 bis 0,5 um) einen Durchlaßgrad unter 0,01% hat.

Hygiene im Reinen Raum: Alle Körperpflegemaßnahmen zur Verringerung der menschlichen Partikelmission, die Auswahl zweckmäßiger Reinraumkleidung und die Maßnahmen des Reinigens und Verpackens dieser Kleidung sowie das Schaffen eines den Anforderungen entsprechendnen Raumklimas im Reinen Raum.

Klimaanlagen f√ľr Reine R√§ume: Die von Ihnen aufbereitete Luft dient dem Einstellen der gew√ľnschten Temperatur bzw. der gew√ľnschten Feuchte der Luft in der Zirkulationsstr√∂mung eines LF-Reinraumsystems.

Kontaminationsk√∂rper: Von Hortig (85) gepr√§gter Ausdruck f√ľr das Gebiet, in dem unter Ber√ľcksichtigung des Quertransports Partikel zu erwarten sind. Der Kontaminationsk√∂rper wird zwar von der Kontaminationsquelle ausgehend gr√∂√üer, seine "Reinheit" nimmt aber wegen der Abnahme der Partikelkonzentration zu und die Frage ob und in welcher Entfernung von einer Kontaminationsquelle eine weiter "Reiner Arbeitsplatz" eingerichtet werden kann, ist von den entsprechen Anforderungen abh√§ngig. Wesentlich ist, da√ü diese sich ausbildenen Kontaminationsk√∂rper √ľberschaubar bleiben und die Reinen Arbeitspl√§tze daher so angefordert werden k√∂nnen, da√ü ihre gegenseitige Beeinflussung gering gehalten werden kann.

Laminar Air Flow: Angels√§chsischer terminur technicus f√ľr turblenzarme Ver dr√§ngungsstr√∂mung, die nicht laminar im strengen Sinne ist (auch: unidirectional air flow oder uniform air flow).

Leck: Stelle im HOSCH-Filterelement, an der der Aerosoldurchla√ügrad den der Umgebung wesentlich √ľberschreitet. Oft wird eine Stelle in einem Filterelement dann als Leck, das nicht mehr toleriert werden kann, angesehen, wenn dort der lokale Durchla√ügrad gegen√ľber einem kalt erzeugten DOP-Nebel (oder auch Paraffin√∂lnebel) gr√∂√üer als 0,01% ist.

Lecktest: Untersuchung des Filterelements auf Lecks mit Hilfe eines kalt erzeugten DOP-Nebels (oder auch Paraffin√∂lnebels) und eines Aerosolphotometer. Eine Leckbestimmung kann auch mit dem Partikelz√§hler durchgef√ľhrt werden (Cave: Gen√ľgend hohe Nebelkonzentration auf der Zustr√∂mseite ist Voraussetzung).

LF-Clean-Room-Technologie: Angels√§chsischer terminus technicus f√ľr LF-Reinraumtechnik.

LF-Reinraumtechnik: Reinraumtechnik, bei der die Raumluft in Form einer tur bulenzarmen Verdr√§ngungsstr√∂mung gef√ľhrt wird.

Lichtstreuung: Licht, das auf ein Partikel f√§llt, wird in Abh√§ngigkeit von Partikeldurchmesser (und physikalischen Parametern des Partikels) aus der Einfallrichtung abgelenkt (Tyndall-Effekt). Die Winkelverteilung und Intensit√§t des gestreuten Lichtes h√§ngen von verschiedenen Parametern des Partikels, unter anderen von seiner Gr√∂√üe, ab (das Streulicht, das eine Vielzahl von Molek√ľlen ‚Äďkleinste Partike!---z.B. von einfallendem Sonnenlicht erzeugt, ist das Himmelblau: die langwelligen roten Spektralanteile des Sonnenlichts werden weniger stark gestreut: Morgen- und Abendrot).

Luftduschen: Vorrichtung zum Abblasen der Reinen Kleidung vor dem Betreten des Reinen Raumes. Ihre Wirkung ist umstritten.

Luftfilter: Vorrichtung zum Entfernen luftgetragener Verunreinigungen aus strömender Luft.

Luftzustand: Durch Temperatur, Feuchte und Druck wird der Luftzustand im allgemeinen gekennzeichnet;oft werden diese Werte um den der Luftgeschwindigkeit erweitert.

Materialdurchreiche: Schleusenartig ausgef√ľhrter, kastenf√∂rmiger Wanddurchbruch eines Reinen Raumes zum Ein- oder Ausbringen von Material, Werkzeug. Instrumenten usw.; im Regenfall mit zwei gegeneinander verriegelten T√ľren und - falls erforderlich - mit Luftdurchsp√ľlung.

Partikel: Teilchen festen oder fl√ľssigen Aggregatzustands beliebiger Art, Dichte und Form. In der Reinraumtechnik ist der Begriff "Partikel" auf die begrenzt, deren Durchmesser gleich oder gr√∂√üer 0,5 um ist.

Partikelbewegung: die auf ein Partikel einwirkenden Kr√§fte, verursachen eine Partikelbewegung, die nicht mit derjenigen der Luftstr√∂mung √ľbereinstimmen mu√ü. Abweichungen k√∂nnen herr√ľhren von Restturbulenzen (Quertransport). Wirbelstr√∂mungen, Sedimentation unter dem Einflu√ü der Schwere des Partikels. Coulomb`sche Kr√§fte bei elektrisch geladenen Partikeln in elektrischen Feldern.

Partikelldurchmesser: Als Partikeldurchmesser wird ein √§quivalenter Durchmesser definiert. In der Reinraumtechnik ist dies der Durchmesser eines Polystyrolk√ľgelchens, das die gleiche Streulichtintensit√§t erzeugt wie das Partikel. Andere √Ąquivalenzdurchmesser: Durchmesser des Kreises, der die gleiche Fl√§che wie die Projektion des Partikels hat (bei mikroskopischer Betrachtung)! oder Durchmesser der Kugel, die die gleiche Fallgeschwindigkeit wie das Partikel besitzt (Stokes-Durchmesser; Stokes-Geschwindigkeit). Der Partikeldurchmesser wird in Mikrometern (um) = 10-6m=10-3mm (fr√ľher auch Mikron) angegeben.

Partikelemission: Unvermeidbare Abgabe von Partikeln bei beliebigen Tätigkeiten.

Partikelkonzentration: Die Konzentration aller luftgetragenen Partikel in der Volumeneinheit Raumluft, d.h. im Kubikmeter (auch im Liter oder im Kubikfuß =28,3 l).

Partikelz√§hler: Ger√§t zum Nachweis einzelner Partikel, die frei fliegen, ein Me√üvolumen durchqueren und dort einen Teil des sie beleuchtenden Lichts streuen. Die Intensit√§t des Streulichts ist ein Ma√ü f√ľr den Partikeldurchmesser. Das Kalibrieren erfolgt mit den kugelf√∂rmigen Teilchen einer Polystyrol-Latex, die ihrerseits mikroskopisch vermessen werden. Mit elektronischen Ma√ünahmen (Diskriminator mit verschiedenen Ansprechschwellen und diesen Ansprechschwellen zugeordneten Z√§hlern) lassen die Partikelz√§hler eine Bewertung der Partikelkonzentration als Summenh√§ufigkeit in Abh√§ngigkeit vom Partikeldurchmesser zu.

Quertransport: Die Restturbulenz der turbulzarmen Verdr√§ngungsstr√∂mung hat eine Partikelausbreitung quer zur Str√∂mungsrichtung zur Folge. Nach Messungen von Horting liegt der Ausbreitungswinkel bei 1 bis 20. Dies spricht f√ľr eine Quertransportgeschwindigkeit von um 10cm/s bei einer Str√∂mungsgeschwindigkeit von um 30 cm/s.

Reiner Arbeitsplatz: Ein in seiner Reinheit durch besondere Ma√ünahmen kontrollierter Arbeitsbereich, an dem Arbeiten mit Produkten oer an Objekten durchgef√ľhrt werden, die durch Umgebungseinfl√ľsse gesch√§digt werden oder di edie Umgebung sch√§digen k√∂nnen.

Reiner Raum: Ein in seiner Reinheit durch besondere Maßnahmen kontrollierter Arbeitsbereich, in dem ein oder mehrere Reine Arbeitsplätze so vorhanden sind, daß die an diesen Reinen Arbeitsplätzen beschäftigten Personen an ihm plaziert sind (auch: Reine Arbeitskabine).

Reine Werkbank: Im allgemeinen ein, in Sonderfällen auch mehrere Reine Arbeitsplätze, die so angeordnet sind, daß die an ihm bzw. an ihnen beschäftigte Person außerhalb des in seiner Reinheit kontrollierten Arbeitsbereiches plaziertist.

Reinheit: Die Reinheit ist das Freisein von beliebigen Verunreinigungen: quantitativ wird sie durch den Reinheitsgrad beschrieben. Die absolute Reinheit ist ein Grenzwert, dem man sich in der Praxis nur nähern kann, ohne ihn zu erreichen.

Wie weit dieses Ann√§hern erfolgen kann oder erfolgen mu√ü, h√§ngt von den jeweiligen Umst√§nden ab, wobei der Aufwand mit steigenden Anforderungen an die Reinheit √ľberproportional steigt. In der Reinraumtechnik im allgemeinen auf Aerosol bezogen.

Reinheitsgrad: Quantitative Angabe √ľber die Reinheit; in der Reinraumtechnik im allgemeinen gemessen an der Partikelkonzentration (in Sonderf√§llen auch Anzahl der Partikel auf Oberfl√§chen).

Reinheitsgrad der Raumluft: Partikelkonzentration, im allgemeinen Zahl der Partikel mit einem Partikeldurchmesser von 0,5 um und größer je Kubikmeter Raumluft (auch je Liter oder je Kubikfuß --- 28,31 ---Raumluft).

Reinraumklasse: Durch Abstufung des Reinheitsgrades entstehende Klassierung. Die Reinheitsklasse dient im allgemeinen zur Kennzeichnung der Anforderungen an die Raumluft oder zum Nachweis des Einhaltens dieser Anforderungen. Sie sind nach VCI 2083 festgelegt durch die Anzahl der Partikel mit Partikeldurchmessern 1 um und gr√∂√üer, wobei die die Reinraumklasse kennzeichnende Grenzkurve f√ľr die Summenh√§ufigkeit der Partikel in Abh√§ngigkeit vom Partikeldurchmesser einer Junge-Verteilung entspricht und gleich der Steigerung der Grenzkurven der Reinheitsklassen des Ferderal Standard 209 der USA ist. Im praktischen Gebrauch stimmen folgende korrespondierenden Klassen √ľberein.

VDI 2083/ Fed.Std. 209

3/100

4/-

5/10000

6/100000

Reinraumtechnik: Die Technik, Fertigungsschritte, Produktionstufen oder an dere gegen√ľber Verunreinigungen empfindliche T√§tigkeiten unter den Bedingungen besonderer √§u√üerer Reinheit durchzuf√ľhren.

Reynold-Zahl: Verhältnis von Trägheitskraft zu Reibungs-(Zähigkeits-) kräften. Bei kleinen Reynoldschen Zahlen ist ein Strömung laminar. Oberhalb einer kritischen Reynold-Zahl (z.B. im zylindrischen Rohr RE>2230) bildet sich nach einem Einlaufvorgang ein turbulentes Strömungsprofil aus.

Sedimentation: Bewegung des Partikels im Schwerefeld der Erde. Zwischen etwa 100 um und etwa 1 um gilt das Stokes-Gesetz, nachdem sich eine konstante Sedimentationsgeschwindigkeit einstellt, die der Dichte des Partikels--Materials und dem Quadrat des Stokes-Durchmessers des Partikels proportional ist. Ein Partikel mit einem Stokes-Duchmesser von 10 um und einer Dichte entsprechend der des Wassers sedimentiert mit 3 mm/s, eines mit 1 um mit 30 um,s.

Schleusen: Zug√§nge zu in bezug auf ihre Reinheit kontrollierten Bereichen, in den z.B. durch gegeneinander verriegelte T√ľren unterschiedliche Druckniveaus, die ein √úbrstr√∂men von verunreinigter Luft in den kontrollierten Bereich verhindern, aufrecht erhalten werden. Oft dienen derartige Schleusen gleichzeitig als Umkleideraum und sind daher mit Kleiderablagen f√ľr unreine Kleidung, einem Vorrat f√ľr reine Kleidung, Wascheinrichtungen und ggf. Luftduschen versehen.

Schwebstoff-Luftfilter: Luftfilter zum Abscheiden sehr fein (kolloidal) dispergierter luftgetragener Schwebstoffe.

Sodium-Flame-Test nach Brit. Std. 3921: Pr√ľfmethode zum Pr√ľfen von Schwebstoff-Luftfiltern (St√ľckpr√ľfung) mit Hilfe eines aus verd√ľster Natriumchloridl√∂sung erzeugtem NaCI-Aerosols mit Partikeldurchmesser im Bereich von 0,05 um bis 2 um. Die Konzentrationsbestimmung erfolgt mit Hilfe spektralanalytischer Methoden (Gelbf√§rbung einer Flamme!).

Stabilit√§t der turbulenzarmen Verdr√§ngungsstr√∂mung: Die Tr√§gheit der von Ventilatoren angetriebenen Str√∂mung mu√ü thermischen Auftrieb √ľberwinden k√∂nnen, ohne da√ü an den umstr√∂mten K√∂rpern Turbulenzzonen in einem gr√∂√üeren unvermeidbaren Ausma√ü entstehen.

Statische Elektrizit√§t: Vorwiegend durch Rei bungsaufladung entstehende Ladungsanh√§ufunf, die zu elektrischen Feldern f√ľhrt. Ausgleich u.U. durch Funken, der z√ľndf√§hige Gemische zu z√ľnden in der Lage ist.

Staubspeicherf√§higkeit: Die Masse des abgeschiedenen und in der Fl√§cheneinheit eingelagerten Staubes (bei√ľblichen HOSCH-Filtern gr√∂√üenordnungsm√§√üig um 10 2 Gramm pro Quadratmeter.

St√ľckpr√ľfung: Pr√ľfung jedes gefertigten Schwebstoff-Luftfilters mit einer geeigneten Methode (z.B. DOP, Sodium-Flame-und ggf. Lecktest).

Temperatur: Thermodynamische Zustandsgr√∂√üe, die mit (trockenen!) Thermof√ľhlern (Thermometern) gemessen wird.

Turbulenz: Statistisch verteilte, ungeordnete Schwankungen der Strömungsgeschwindigkeit, die quantitativ als Turbulenzgrad angegeben werden kann. Turbulenz darf nicht mit Wirbeln verwechselt werden.

Turbulenzarme Verdr√§ngungsstr√∂mung: Str√∂mungsform, bei der der gesamte zur Str√∂mungsrichtung senkrecht liegende Raumquerschnitt mit gleichf√∂rmiger Geschwindigkeit von der Raumluft durchstr√∂mt wird. Die Str√∂mung entspricht einer gleichgerichteten Kanal-Anlaufstr√∂mung mit gro√üer Reynold-Zahl. Verunreinigungen in der Raumluft werden verdr√§ngt; daher: L√ľftung mit turbulenzarmer Verdr√§ngungsstr√∂mung: turbulenzarme Verdr√§ngungsl√ľftung (Kennzeichnung: Geschwindigkeit der Str√∂mung).

Turbulenzreiche Strahlstr√∂mung: Str√∂mungsform, bei der die Zuluft als Strahl in den Raum eingeblasen wird. Der Strahl erzeugt eine innere Zirkulationsstr√∂mung (das etwa 10 40fache des eingeblasenen Volumenstromes!!). In den turbulenten Randzonen des Strahls vermischt sich die Zuluft mit der Raumluft. In der Raumluft vorhandene Verunreinigungen werden verd√ľnnt: daher: L√ľftung mit turbulenzreicher Strahll√ľftung auch turbulenzreiche Verd√ľnnungsl√ľftung (Kennzeichnung durch Luftwechselzahl, d. h. auf das Raumvolumen bezogener Zuluftvolumenstrom.

Turbulenzgrad: Der Turbulenzgrad der turbulenzarmen Verdr√§ngungsstr√∂mung √ľbersteigt im allgemeinen 10% nicht.

Typpr√ľfung nach DIN 24 184: Pr√ľfung von Schwebstoff-Luftfiltern auf das Einhalten vorgegeener Abscheidegrenzen, die einmal an einem Typ einer Konstruktion durchgef√ľhrt wird und ggf. in gewissen Zeitabst√§nden wiederholt wird. Gepr√ľft wird mit Paraffin-√Ėlnebel (thermisch erzeugt), radioaktiv markierten nat√ľrlichen Luftaerosol, frisch erzeugtem Quarzstaub (in Sonderf√§llen): daneben wird ein Lecktest durchgef√ľhrt (√Ėlfadentest).

Vertikalstrom: Die turbulenzarme Verdr√§ngungsstr√∂mung wird senkrecht gef√ľhrt.

Vorfilter: Luftfilter mit geringerer Abscheidewirkung, die zur Entlastung nachgeschalteter Feinfilter eingesetzt werden.

Wirbel: Zirkulationsströmung um einen Wirbelkern als drehungsfreie Potentialströmung (Potentialwirbel) oder um eine Strömungssenke bzw. Strömungsquelle als drehungsbehaftete Senker-bzw. Wellströmung. Bei der LF-Reinraumtechnik wichtig: Wirbelpaare (Karman-Wirbel) die sich bei der Strömungsablösung an umströmten Körpern ausbilden, ablösen und abklingend mit der Strömung "fortschwimmen" sowie (relativ) stationäre Wirbelpaare in strömungstoten Gebieten. Dort kann ein Partikeltransport scheinbar gegen die Strömungsrichtung erfolgen.

Wirkungsgrad: Aus dem Unterschied der Verf√§rbung zweier Filterpapiere, eines mit Luft von dem zu pr√ľfenden Luftfilter beaufschlagt, eines mit der im Pr√ľfling gereinigten Luft, ermitteltes Ma√ü f√ľr die Abscheidewirkung.


Aus: http://www.kp-audio.de/Reinraum_Lexikon.htm

Witere Literatur: USA http://www.techstreet.com/info/ashrae.html http://www.ashrae.org http://tis.eh.doe.gov/hepa/nuke_air/chap1.pdf

12 Dec 2004
22:24:09
E. Richter


Begriffe der Reinraumtechnik


Abrieb: Spezielle Form der Partikelemission, die auf das mechanische Abtragen von Material bei reibender Bewegung zur√ľckgeht.

Abriebfestigkeit: In der Reinraumtechnik unbedingt erforderliche Eigenschaft von Oberflächen der verwendeten Baumaterialie, Geräten und Inventare.

Abscheidegrad: Gravimetrisch ermitteltes Verh√§ltnis der im Luftfilter abgeschiedenen Masse der ASHRAE-Staubes zu der, die dem Filter zugef√ľhrt wird.

Aerosol: In Luft verteilte, fein dispergierte, feste oder fl√ľssige Materie (Luftkolloid).

Aerosol-Photometer: Ger√§t zum Feststellen von Aerosolkonzentrationen auf der Basis von Streulichtmessungen; eine Absolutmessung ist nicht m√∂glich, jedoch ist bei einem in bezug auf die Korngr√∂√üenverteilung konstanten Aerosol ein R√ľckschlu√ü von der Intensit√§t des Streulichts auf die Massenkonzentration des Aerosols durch Kalibrieren m√∂glich.

Antistatische Ausr√ľstung: Ausr√ľsten der Oberfl√§chen bzw. der Materialien so, da√ü eine schwache elektrische Leitf√§higkeit entstehende statische Aufladungen ausschlie√üen l√§√üt.

Anströmgeschwindigkeit: Luftgeschwindigkeit, mit der die Schwebstoff-Filterelemente senkrecht angeströmt werden. Wegen der unvermeidbaren Flächenverluste im allgemeinen etwas höher als die Geschwindigkeit der turbulenzarmen Verdrängungsströmung.

Archimedes-Zahl: Dimensionslose Kennzahl, gebildet aus dem Verh√§ltnis der Tr√§gheitskraft zu Auftriebskr√§ften infolge entstehender Temperaturunterschiede; sie ist somit ein Ma√ü f√ľr die Stabilit√§t der Stabilit√§t der turbulenzarmen Verdr√§ngungsstr√∂mung (Cave: Wegen fehlender turbulenter Durchmischung ist die Archimedes-Zahl auf das Raumvolumen zu beschr√§nken, in dem die W√§rmequelle lokalisiert ist, darauf ist die in der Zahl eingehende W√§rmelast zu beziehen).

ASHRAE*-Test: Luftfilter-Pr√ľfverfahren nach ASHRAE 52 68 (USA), bei dem der Pr√ľfling abwechselnd mit ASHRAE-Staub, einem aus Gesteinsmehl, Ru√ü und Bauwoll-Linters gemischten Staub, zur Bestimmung des gravimetrischen Abscheidgrades und mit nat√ľrlichen Luftaerosol zur Bestimmung des Wirkungsgrades durch die verf√§rbende Wirkung der Aerosolteilchen beaufschlagt wird.

(*ASHRAE: American Society of Heating, Refrigation, and Airconditioning, Engineers)

Aufnahmerahmenkonstruktion: Rahmenwerk aus winkligen Profilen, in die die Schwebstoff-Filter eingesetzt und mit den zur Aufnahmerahmenkonstruktion gehörenden Anpreßvorrichtungen gleichmäßig dicht in die Filtersitze gepreßt werden.

Behaglichkeit: Aus den Zustandswerten und physischen sowie psychischen Faktoren resultierender Bereich von Temperatur und Feuchte sowie Luftgeschwindigkeit, innerhalb dessen ein "Normalmensch"keine ungehaglichen Erscheinungen (Kälte, Hitze, Zug) wahrnimmt.

Contamination control: Angels√§chsischer terminus technicus f√ľr Reinraumtechnik (wird auch f√ľr Abluftreinigung gebraucht).

Cross-Flow: Angels√§chsischer terminus technicus f√ľr Querstrom.

Dichtheit: Der Zustand in dem : alle Schwebstoff-Filterelemente luftdicht in der Aufnahmerahmenkonstruktion sitzen und alle in der Filterwand bzw. die Filterdecke eingebauten Schwebstoff-Filterelemente keine Lecks haben.

Dichtheitspr√ľfung: √úbertragung des Lecktests auf die Filterwand bzw. die Filterdecke.

Dichtung: Auf dem Schwebstoff-Filterelement aufgebrachtes dauerelastisches Teil, das sich auf den Filtersitz legt und nach dem Anpressen des Filterelements eine luftdichte Verbindung zwischen Filterelement und Aufnahmerahmenkonstruktion bewirkt.

DOP-Test: Nach Mil.Std. 282 (USA): Pr√ľfmethode zum Pr√ľfen von Schwebstoff-Luftfiltern (St√ľckpr√ľfung) mit Hilfe eines thermisch erzeugten DOP-(Dioctylphthalat-) Nebels mit nahezu einheitlichem Partikeldurchmesser von 0,3. Die Bestimmung der Aerosolkonzentration vor und hinter dem Pr√ľfling geschieht mit Aerosol-Photometern.

Down-Flow: Angels√§chsischer terminus f√ľr Vertikalstrom.

Druckdifferenz: Differenz der statischen Dr√ľcke vor und hinter einem Filter. Die Druckdifferenz ist --- bei konstanter Anstr√∂mgeschwindigkeit --- ein Ma√ü f√ľr die Staubbeladung (auch Filters√§ttigung).

Durchla√ügrad: Wird im allgemeinen statt Abscheide-, Wirkungs- oder Entstauungsgrad bei Schwebstoff-Luftfiltern gebraucht. Der Durchla√ügrad D (in %) ist gegeben durch die Differenz 100 minus Abscheidegrad (bzw. Wirkungs-oder Entstaubungsgrad). Es ist immer an Hand der Testmethode zu pr√ľfen, ob der Durchla√ügrad massenbezogen (Sodium-Flame-Test), streulichtbezogen (DOP-Test) oder teilchenzahlbezogen (Methoden unter Benutzung von Teilchenz√§hlern) ist.

Enddruckdifferenz: Maximale, f√ľr den Filter in einer Anlage zul√§ssige Druckdifferenz, die in der Mehrzahl der F√§lle von der Anlage und ihrem Ventilator gegeben wird. Die maximale Filterdruckdifferenz (die Grenze f√ľr Staubdurchbruch oder mechanische Besch√§digungen liegt ---oft weit --- h√∂her).

Erstluft: Die Luft, die nach ihrem Austritt aus einem Schwebstoff-Filter noch nicht mit einer Kontaminationsquelle oder mit dem von ihr ausgehenden Kontaminationsk√∂rper in Ber√ľhrung gekommen ist.

Feuchte: Gehalt der Luft an Wasserdampf in Gramm pro Kilogramm trockene Luft. Andere Angaben: Relative Feuchte in %, Taupunkt oder psychrometrische Differenz, die mit einem feuchten Thermof√ľhler gegen√ľber einem trockenen ermittelt wird.

Filter: Vorrichtung zum Entfernen von Verunreinigungen aus Fluiden.

Filterwand (Filterdecke): In der LF-Reinraumtechnik werden die Schwebstoff-Filter zu Filterw√§nden (f√ľr Querstrom) bzw. zu Filterdecken (f√ľr Fallstrom) so in einer Aufnahmerahmenkonstruktion zusammengefa√üt, da√ü die gesamte Fl√§che der Wand bzw. der Decke bis zu den anschlie√üenden der Str√∂mung f√ľhrenden Begrenzungen von Schwebstoff-Filtern (nahzu) l√ľckenlos ausgef√ľllt ist.

Filter Fan Unit : FFU's zeichnen sich aus durch geringen Energiebedarf, niedrige Betriebskosten und einem hohen statischen Gesamtdruck bei voller Luftmenge. Es sind selbst√§ndig arbeitende Decken-Module f√ľr den Einsatz in Reinr√§umen mit turbulenter Mischl√ľftung oder laminarer Verdr√§ngungsstr√∂mung. Der Schalldruckpegel betr√§gt f√ľr ein Modul bei voller Luftlast und sauberem Filter 53 dB (a) 1 Meter unterhalb des Filters

Glove-Box: Dichter Kasten mit Sichtscheiben und dicht angebrachten Plastik-Handschuhen zum Durchf√ľhren von Arbeiten an hochtoxischem oder hochinfekti√∂sem Material (Isolatortechnik), ggf. mit Luftumw√§lzung und Filterung der umgew√§lzten Luft (auch f√ľr Schutzgasarbeiten).

Grenzschicht: Übergangsschicht von der Strömung zu einer ruhenden Oberfläche, in der die Strömungsgeschwindigkeit auf Null absinkt. Eine Strömungsablösung beginnt mit Instabilitäten in der Grenzschicht.

HEPA-Filter: Angels√§chsischer terminus technicus f√ľr HOSCH-Filter (hier: Durchla√ügrad kleiner 0,01% nach DOP-Test).

Horizontalstrom: Die turbulenzarme Verdr√§ngungsstr√∂mung wird waagerecht gef√ľhrt.

Hosch-Filter: Schwebstoff-Luftfilter, das im kritischen Abscheidebereich (etwa 0,2 bis 0,5 um) einen Durchlaßgrad unter 0,01% hat.

Hygiene im Reinen Raum: Alle Körperpflegemaßnahmen zur Verringerung der menschlichen Partikelmission, die Auswahl zweckmäßiger Reinraumkleidung und die Maßnahmen des Reinigens und Verpackens dieser Kleidung sowie das Schaffen eines den Anforderungen entsprechendnen Raumklimas im Reinen Raum.

Klimaanlagen f√ľr Reine R√§ume: Die von Ihnen aufbereitete Luft dient dem Einstellen der gew√ľnschten Temperatur bzw. der gew√ľnschten Feuchte der Luft in der Zirkulationsstr√∂mung eines LF-Reinraumsystems.

Kontaminationsk√∂rper: Von Hortig (85) gepr√§gter Ausdruck f√ľr das Gebiet, in dem unter Ber√ľcksichtigung des Quertransports Partikel zu erwarten sind. Der Kontaminationsk√∂rper wird zwar von der Kontaminationsquelle ausgehend gr√∂√üer, seine "Reinheit" nimmt aber wegen der Abnahme der Partikelkonzentration zu und die Frage ob und in welcher Entfernung von einer Kontaminationsquelle eine weiter "Reiner Arbeitsplatz" eingerichtet werden kann, ist von den entsprechen Anforderungen abh√§ngig. Wesentlich ist, da√ü diese sich ausbildenen Kontaminationsk√∂rper √ľberschaubar bleiben und die Reinen Arbeitspl√§tze daher so angefordert werden k√∂nnen, da√ü ihre gegenseitige Beeinflussung gering gehalten werden kann.

Laminar Air Flow: Angels√§chsischer terminur technicus f√ľr turblenzarme Ver dr√§ngungsstr√∂mung, die nicht laminar im strengen Sinne ist (auch: unidirectional air flow oder uniform air flow).

Leck: Stelle im HOSCH-Filterelement, an der der Aerosoldurchla√ügrad den der Umgebung wesentlich √ľberschreitet. Oft wird eine Stelle in einem Filterelement dann als Leck, das nicht mehr toleriert werden kann, angesehen, wenn dort der lokale Durchla√ügrad gegen√ľber einem kalt erzeugten DOP-Nebel (oder auch Paraffin√∂lnebel) gr√∂√üer als 0,01% ist.

Lecktest: Untersuchung des Filterelements auf Lecks mit Hilfe eines kalt erzeugten DOP-Nebels (oder auch Paraffin√∂lnebels) und eines Aerosolphotometer. Eine Leckbestimmung kann auch mit dem Partikelz√§hler durchgef√ľhrt werden (Cave: Gen√ľgend hohe Nebelkonzentration auf der Zustr√∂mseite ist Voraussetzung).

LF-Clean-Room-Technologie: Angels√§chsischer terminus technicus f√ľr LF-Reinraumtechnik.

LF-Reinraumtechnik: Reinraumtechnik, bei der die Raumluft in Form einer tur bulenzarmen Verdr√§ngungsstr√∂mung gef√ľhrt wird.

Lichtstreuung: Licht, das auf ein Partikel f√§llt, wird in Abh√§ngigkeit von Partikeldurchmesser (und physikalischen Parametern des Partikels) aus der Einfallrichtung abgelenkt (Tyndall-Effekt). Die Winkelverteilung und Intensit√§t des gestreuten Lichtes h√§ngen von verschiedenen Parametern des Partikels, unter anderen von seiner Gr√∂√üe, ab (das Streulicht, das eine Vielzahl von Molek√ľlen ‚Äďkleinste Partike!---z.B. von einfallendem Sonnenlicht erzeugt, ist das Himmelblau: die langwelligen roten Spektralanteile des Sonnenlichts werden weniger stark gestreut: Morgen- und Abendrot).

Luftduschen: Vorrichtung zum Abblasen der Reinen Kleidung vor dem Betreten des Reinen Raumes. Ihre Wirkung ist umstritten.

Luftfilter: Vorrichtung zum Entfernen luftgetragener Verunreinigungen aus strömender Luft.

Luftzustand: Durch Temperatur, Feuchte und Druck wird der Luftzustand im allgemeinen gekennzeichnet;oft werden diese Werte um den der Luftgeschwindigkeit erweitert.

Materialdurchreiche: Schleusenartig ausgef√ľhrter, kastenf√∂rmiger Wanddurchbruch eines Reinen Raumes zum Ein- oder Ausbringen von Material, Werkzeug. Instrumenten usw.; im Regenfall mit zwei gegeneinander verriegelten T√ľren und - falls erforderlich - mit Luftdurchsp√ľlung.

Partikel: Teilchen festen oder fl√ľssigen Aggregatzustands beliebiger Art, Dichte und Form. In der Reinraumtechnik ist der Begriff "Partikel" auf die begrenzt, deren Durchmesser gleich oder gr√∂√üer 0,5 um ist.

Partikelbewegung: die auf ein Partikel einwirkenden Kr√§fte, verursachen eine Partikelbewegung, die nicht mit derjenigen der Luftstr√∂mung √ľbereinstimmen mu√ü. Abweichungen k√∂nnen herr√ľhren von Restturbulenzen (Quertransport). Wirbelstr√∂mungen, Sedimentation unter dem Einflu√ü der Schwere des Partikels. Coulomb`sche Kr√§fte bei elektrisch geladenen Partikeln in elektrischen Feldern.

Partikelldurchmesser: Als Partikeldurchmesser wird ein √§quivalenter Durchmesser definiert. In der Reinraumtechnik ist dies der Durchmesser eines Polystyrolk√ľgelchens, das die gleiche Streulichtintensit√§t erzeugt wie das Partikel. Andere √Ąquivalenzdurchmesser: Durchmesser des Kreises, der die gleiche Fl√§che wie die Projektion des Partikels hat (bei mikroskopischer Betrachtung)! oder Durchmesser der Kugel, die die gleiche Fallgeschwindigkeit wie das Partikel besitzt (Stokes-Durchmesser; Stokes-Geschwindigkeit). Der Partikeldurchmesser wird in Mikrometern (um) = 10-6m=10-3mm (fr√ľher auch Mikron) angegeben.

Partikelemission: Unvermeidbare Abgabe von Partikeln bei beliebigen Tätigkeiten.

Partikelkonzentration: Die Konzentration aller luftgetragenen Partikel in der Volumeneinheit Raumluft, d.h. im Kubikmeter (auch im Liter oder im Kubikfuß =28,3 l).

Partikelz√§hler: Ger√§t zum Nachweis einzelner Partikel, die frei fliegen, ein Me√üvolumen durchqueren und dort einen Teil des sie beleuchtenden Lichts streuen. Die Intensit√§t des Streulichts ist ein Ma√ü f√ľr den Partikeldurchmesser. Das Kalibrieren erfolgt mit den kugelf√∂rmigen Teilchen einer Polystyrol-Latex, die ihrerseits mikroskopisch vermessen werden. Mit elektronischen Ma√ünahmen (Diskriminator mit verschiedenen Ansprechschwellen und diesen Ansprechschwellen zugeordneten Z√§hlern) lassen die Partikelz√§hler eine Bewertung der Partikelkonzentration als Summenh√§ufigkeit in Abh√§ngigkeit vom Partikeldurchmesser zu.

Quertransport: Die Restturbulenz der turbulzarmen Verdr√§ngungsstr√∂mung hat eine Partikelausbreitung quer zur Str√∂mungsrichtung zur Folge. Nach Messungen von Horting liegt der Ausbreitungswinkel bei 1 bis 20. Dies spricht f√ľr eine Quertransportgeschwindigkeit von um 10cm/s bei einer Str√∂mungsgeschwindigkeit von um 30 cm/s.

Reiner Arbeitsplatz: Ein in seiner Reinheit durch besondere Ma√ünahmen kontrollierter Arbeitsbereich, an dem Arbeiten mit Produkten oer an Objekten durchgef√ľhrt werden, die durch Umgebungseinfl√ľsse gesch√§digt werden oder di edie Umgebung sch√§digen k√∂nnen.

Reiner Raum: Ein in seiner Reinheit durch besondere Maßnahmen kontrollierter Arbeitsbereich, in dem ein oder mehrere Reine Arbeitsplätze so vorhanden sind, daß die an diesen Reinen Arbeitsplätzen beschäftigten Personen an ihm plaziert sind (auch: Reine Arbeitskabine).

Reine Werkbank: Im allgemeinen ein, in Sonderfällen auch mehrere Reine Arbeitsplätze, die so angeordnet sind, daß die an ihm bzw. an ihnen beschäftigte Person außerhalb des in seiner Reinheit kontrollierten Arbeitsbereiches plaziertist.

Reinheit: Die Reinheit ist das Freisein von beliebigen Verunreinigungen: quantitativ wird sie durch den Reinheitsgrad beschrieben. Die absolute Reinheit ist ein Grenzwert, dem man sich in der Praxis nur nähern kann, ohne ihn zu erreichen.

Wie weit dieses Ann√§hern erfolgen kann oder erfolgen mu√ü, h√§ngt von den jeweiligen Umst√§nden ab, wobei der Aufwand mit steigenden Anforderungen an die Reinheit √ľberproportional steigt. In der Reinraumtechnik im allgemeinen auf Aerosol bezogen.

Reinheitsgrad: Quantitative Angabe √ľber die Reinheit; in der Reinraumtechnik im allgemeinen gemessen an der Partikelkonzentration (in Sonderf√§llen auch Anzahl der Partikel auf Oberfl√§chen).

Reinheitsgrad der Raumluft: Partikelkonzentration, im allgemeinen Zahl der Partikel mit einem Partikeldurchmesser von 0,5 um und größer je Kubikmeter Raumluft (auch je Liter oder je Kubikfuß --- 28,31 ---Raumluft).

Reinraumklasse: Durch Abstufung des Reinheitsgrades entstehende Klassierung. Die Reinheitsklasse dient im allgemeinen zur Kennzeichnung der Anforderungen an die Raumluft oder zum Nachweis des Einhaltens dieser Anforderungen. Sie sind nach VCI 2083 festgelegt durch die Anzahl der Partikel mit Partikeldurchmessern 1 um und gr√∂√üer, wobei die die Reinraumklasse kennzeichnende Grenzkurve f√ľr die Summenh√§ufigkeit der Partikel in Abh√§ngigkeit vom Partikeldurchmesser einer Junge-Verteilung entspricht und gleich der Steigerung der Grenzkurven der Reinheitsklassen des Ferderal Standard 209 der USA ist. Im praktischen Gebrauch stimmen folgende korrespondierenden Klassen √ľberein.

VDI 2083/ Fed.Std. 209

3/100

4/-

5/10000

6/100000

Reinraumtechnik: Die Technik, Fertigungsschritte, Produktionstufen oder an dere gegen√ľber Verunreinigungen empfindliche T√§tigkeiten unter den Bedingungen besonderer √§u√üerer Reinheit durchzuf√ľhren.

Reynold-Zahl: Verhältnis von Trägheitskraft zu Reibungs-(Zähigkeits-) kräften. Bei kleinen Reynoldschen Zahlen ist ein Strömung laminar. Oberhalb einer kritischen Reynold-Zahl (z.B. im zylindrischen Rohr RE>2230) bildet sich nach einem Einlaufvorgang ein turbulentes Strömungsprofil aus.

Sedimentation: Bewegung des Partikels im Schwerefeld der Erde. Zwischen etwa 100 um und etwa 1 um gilt das Stokes-Gesetz, nachdem sich eine konstante Sedimentationsgeschwindigkeit einstellt, die der Dichte des Partikels--Materials und dem Quadrat des Stokes-Durchmessers des Partikels proportional ist. Ein Partikel mit einem Stokes-Duchmesser von 10 um und einer Dichte entsprechend der des Wassers sedimentiert mit 3 mm/s, eines mit 1 um mit 30 um,s.

Schleusen: Zug√§nge zu in bezug auf ihre Reinheit kontrollierten Bereichen, in den z.B. durch gegeneinander verriegelte T√ľren unterschiedliche Druckniveaus, die ein √úbrstr√∂men von verunreinigter Luft in den kontrollierten Bereich verhindern, aufrecht erhalten werden. Oft dienen derartige Schleusen gleichzeitig als Umkleideraum und sind daher mit Kleiderablagen f√ľr unreine Kleidung, einem Vorrat f√ľr reine Kleidung, Wascheinrichtungen und ggf. Luftduschen versehen.

Schwebstoff-Luftfilter: Luftfilter zum Abscheiden sehr fein (kolloidal) dispergierter luftgetragener Schwebstoffe.

Sodium-Flame-Test nach Brit. Std. 3921: Pr√ľfmethode zum Pr√ľfen von Schwebstoff-Luftfiltern (St√ľckpr√ľfung) mit Hilfe eines aus verd√ľster Natriumchloridl√∂sung erzeugtem NaCI-Aerosols mit Partikeldurchmesser im Bereich von 0,05 um bis 2 um. Die Konzentrationsbestimmung erfolgt mit Hilfe spektralanalytischer Methoden (Gelbf√§rbung einer Flamme!).

Stabilit√§t der turbulenzarmen Verdr√§ngungsstr√∂mung: Die Tr√§gheit der von Ventilatoren angetriebenen Str√∂mung mu√ü thermischen Auftrieb √ľberwinden k√∂nnen, ohne da√ü an den umstr√∂mten K√∂rpern Turbulenzzonen in einem gr√∂√üeren unvermeidbaren Ausma√ü entstehen.

Statische Elektrizit√§t: Vorwiegend durch Rei bungsaufladung entstehende Ladungsanh√§ufunf, die zu elektrischen Feldern f√ľhrt. Ausgleich u.U. durch Funken, der z√ľndf√§hige Gemische zu z√ľnden in der Lage ist.

Staubspeicherf√§higkeit: Die Masse des abgeschiedenen und in der Fl√§cheneinheit eingelagerten Staubes (bei√ľblichen HOSCH-Filtern gr√∂√üenordnungsm√§√üig um 10 2 Gramm pro Quadratmeter.

St√ľckpr√ľfung: Pr√ľfung jedes gefertigten Schwebstoff-Luftfilters mit einer geeigneten Methode (z.B. DOP, Sodium-Flame-und ggf. Lecktest).

Temperatur: Thermodynamische Zustandsgr√∂√üe, die mit (trockenen!) Thermof√ľhlern (Thermometern) gemessen wird.

Turbulenz: Statistisch verteilte, ungeordnete Schwankungen der Strömungsgeschwindigkeit, die quantitativ als Turbulenzgrad angegeben werden kann. Turbulenz darf nicht mit Wirbeln verwechselt werden.

Turbulenzarme Verdr√§ngungsstr√∂mung: Str√∂mungsform, bei der der gesamte zur Str√∂mungsrichtung senkrecht liegende Raumquerschnitt mit gleichf√∂rmiger Geschwindigkeit von der Raumluft durchstr√∂mt wird. Die Str√∂mung entspricht einer gleichgerichteten Kanal-Anlaufstr√∂mung mit gro√üer Reynold-Zahl. Verunreinigungen in der Raumluft werden verdr√§ngt; daher: L√ľftung mit turbulenzarmer Verdr√§ngungsstr√∂mung: turbulenzarme Verdr√§ngungsl√ľftung (Kennzeichnung: Geschwindigkeit der Str√∂mung).

Turbulenzreiche Strahlstr√∂mung: Str√∂mungsform, bei der die Zuluft als Strahl in den Raum eingeblasen wird. Der Strahl erzeugt eine innere Zirkulationsstr√∂mung (das etwa 10 40fache des eingeblasenen Volumenstromes!!). In den turbulenten Randzonen des Strahls vermischt sich die Zuluft mit der Raumluft. In der Raumluft vorhandene Verunreinigungen werden verd√ľnnt: daher: L√ľftung mit turbulenzreicher Strahll√ľftung auch turbulenzreiche Verd√ľnnungsl√ľftung (Kennzeichnung durch Luftwechselzahl, d. h. auf das Raumvolumen bezogener Zuluftvolumenstrom.

Turbulenzgrad: Der Turbulenzgrad der turbulenzarmen Verdr√§ngungsstr√∂mung √ľbersteigt im allgemeinen 10% nicht.

Typpr√ľfung nach DIN 24 184: Pr√ľfung von Schwebstoff-Luftfiltern auf das Einhalten vorgegeener Abscheidegrenzen, die einmal an einem Typ einer Konstruktion durchgef√ľhrt wird und ggf. in gewissen Zeitabst√§nden wiederholt wird. Gepr√ľft wird mit Paraffin-√Ėlnebel (thermisch erzeugt), radioaktiv markierten nat√ľrlichen Luftaerosol, frisch erzeugtem Quarzstaub (in Sonderf√§llen): daneben wird ein Lecktest durchgef√ľhrt (√Ėlfadentest).

Vertikalstrom: Die turbulenzarme Verdr√§ngungsstr√∂mung wird senkrecht gef√ľhrt.

Vorfilter: Luftfilter mit geringerer Abscheidewirkung, die zur Entlastung nachgeschalteter Feinfilter eingesetzt werden.

Wirbel: Zirkulationsströmung um einen Wirbelkern als drehungsfreie Potentialströmung (Potentialwirbel) oder um eine Strömungssenke bzw. Strömungsquelle als drehungsbehaftete Senker-bzw. Wellströmung. Bei der LF-Reinraumtechnik wichtig: Wirbelpaare (Karman-Wirbel) die sich bei der Strömungsablösung an umströmten Körpern ausbilden, ablösen und abklingend mit der Strömung "fortschwimmen" sowie (relativ) stationäre Wirbelpaare in strömungstoten Gebieten. Dort kann ein Partikeltransport scheinbar gegen die Strömungsrichtung erfolgen.

Wirkungsgrad: Aus dem Unterschied der Verf√§rbung zweier Filterpapiere, eines mit Luft von dem zu pr√ľfenden Luftfilter beaufschlagt, eines mit der im Pr√ľfling gereinigten Luft, ermitteltes Ma√ü f√ľr die Abscheidewirkung.

12 Dec 2004
22:25:52
Rauter

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